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半导体检查金相显微镜
12寸大工作平台半导体/FPD检查显微镜

分类:半导体检查金相显微镜 发布时间:2020-07-03 10387次浏览

全新的12寸大工作平台半导体/FPD检查显微镜,更大支持300mm 晶圆及17英寸液晶面板的检查,含4、6、8、12英寸多种转盘,可适用不同尺寸的晶圆检查。人机工程学设计全面提升,为用户提供更加舒适、灵活、快捷的操作体验。


12寸大工作平台半导体/FPD检查显微镜

全新的12寸大工作平台半导体/FPD检查显微镜,更大支持300mm 晶圆及17英寸液晶面板的检查,含4、6、8、12英寸多种转盘,可适用不同尺寸的晶圆检查。人机工程学设计全面提升,为用户提供更加舒适、灵活、快捷的操作体验。


产品详情

12寸大工作平台半导体/FPD检查显微镜为用户提供高效的半导体\FPD 光学检测解决方案


半导体/FPD检查显微镜


仰角可调观察筒

0-35°观察角度可调,适合不同身高的用户,降低了对工作环境的要求,让不同的使用者都能找到上佳的观察角度,减轻了长时间工作带来的不适与疲劳,大幅度提高工作效率。


观察筒


全新离合驱动式载物台

MX12R 采用离合式手柄,用户按下离合扳手就可灵活移动平台,无需长时间捏紧手柄;按下离合按钮,取消快速移动。避免长时间操作出现手麻现象,并加快观察速度。 MX12R 引入精密导轨传动机构,移动更轻更顺畅,产品更加稳定可靠。


载物台手柄


安全、高速的电动式物镜转换器

设有前进、后退两档切换模式,可快速、定位到所需要的观察倍率,重复定位精度高。机械式的切换模式,有效提升了转换器的使用寿命。


物镜转换器


按键触手可及,助您提高工作效率

MX12R 物镜与孔径光阑采用全新的电动控制系统,其操作按键位于仪器正前方,让您触手可及。人性化的电动设计不仅避免了频繁的手动操作步骤,也使您的检测工作也更加、灵活。

防震支架设计

机身由六端支架支撑,低重心、高稳定性全金属机架,具备很好的抗震功能,确保像质稳定。


防震支架


内置式灵活搬运装置

MX12R 机身采用全金属材质,稳定性非常棒。在底部两端设有内置搬运装置,搬运时,用户只需将内置搬运手柄旋转拧出,反向拧进,即可形成坚固的搬运装置。此装置的设定,能够将机器重量均匀分配,只需两人即可完成搬运,有效避免搬运过程中,无从下手、移动困难、重量分布不均匀、发生碰撞等诸多问题。搬运过程中,为防止仪器平台移动而造成损坏,可将平台锁紧,以确保仪器的安全稳固性。



落射照明器

孔径光阑与物镜倍率自动匹配,无需再手动调节,更加快捷、高效,让不同使用者都有同样的观察效果。

暗场模式下,光阑自动打开,减小使用者对显微镜的专业技术要求,让显微观察简单化。


落射照明器


满足自动化的应用需求

● 全新升级的MX12RMOT,全自动操作模式,使您的检测工作更加高效。

● X\Y\Z 三轴电动控制,电动型物镜转换,孔径光阑自动匹配。

● 可通过软件或者手柄控制12 英寸平台X、Y、Z 轴的运动,完成图像拼接功能,完美的进行全局图像的观察、分析。

● 独立的操作手柄让平台移动更加简单、方便,避免了因人员操作不当等原因引起的平台损坏。


平台半导体/FPD检查显微镜


丰富的应用领域

MX12R 集成了明场、暗场、偏光、DIC 等多种观察功能。 广泛应用于半导体、FPD、电路封装、电路基板、材料、铸件金属陶瓷部件、精密磨具等检测。



丰富多样的各项附件可满足多种工作环境与观察模式为您展现真实、清晰的显微图像

国际领先级大视野目镜

● 配置25mm 宽视野目镜,相对于常规22mm 的视场范围,视野更加平坦、宽广,并且视场边缘都能保

证清晰明亮,给用户更加舒适的视觉感受。

● 提供更加平坦的观察范围,提高工作效率。更大值域屈光度调节范围可满足更多用户的使用需求。



长工作距物镜

● 配置全套专业半复消色差金相物镜,采用高透过率镜片和先进的镀膜技术。

● 长工作距设计,可有效避免用户在切换时物镜与样品发生碰撞。配置20X 长工作距物镜,满足工业检测领域的需求。

● 每个镜头均严格挑选高透过率的镜片和先进的镀膜技术,可真实还原样品的自然色彩。



物镜参数.jpg


诺曼尔斯基微分干涉衬比系统

● 用高性能微分干涉组件,可以将明场观察下无法检测的细微高低差,转化为高对比度的明暗差并以立体浮雕形式表现出来,广泛用于LCD 导电粒子、精密磁盘表面划痕检测等领域。




系统配置图



外形尺寸图


12寸大工作平台半导体/FPD检查显微镜外形尺寸


12寸大工作平台半导体/FPD检查显微镜技术规格


型号

MX12R

光学系统

无限远色差校正光学系统

观察方式

明场/ 暗场/ 偏光/DIC

观察筒

无限远铰链三通观察筒,0~35°倾角可调,正像, 瞳距调节:50-76mm,分光比100:0 或0:100。

目镜

高眼点大视野平场目镜PL10X/25mm,视度可调,可带单刻度十字分划板

物镜

无限远明暗场半复消金相DIC 物镜 5X、10X、20X、50X(选配:100X)

无限远长工作距明暗场半复消金相DIC 物镜20X

无限远长工作距明暗场半复消金相物镜50X 100X

转换器

明暗场六孔电动转换器,带DIC 插槽

调焦机构

反射式机架:前置低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程35mm,微调精度0.001mm。带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置。内置100-240V 宽电压系统
     透反机架:前置低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程35mm,微调精度0.001mm。带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置。内置100-240V 宽电压系统

载物台

右手位14×12 英寸三层机械移动平台,低手位 X、Y 方向同轴调节 ;平台面积 718mmX420mm,移动范围 :356mmX305mm ;带离合器手柄,可用于全行程范围内快速移动 ;玻璃载物台板 ( 反射用)

电动平台:面积495mmX641mm,移动范围:306mmX306mm ;软件控制X、Y 移动,重复定位精度,(3+L/50)μm 带平板平台

照明系统

明暗场反射照明器, 带可变电动孔径光阑,视场光阑, 中心均可调;带明暗场照明切换装置;带滤色片插槽与偏光装置插槽

摄影摄像

0.5X/0.65X/1X 摄像接筒,C 型接口,可调焦

其他

起偏镜插板,固定式检偏镜插板,360°旋转式检偏镜插板;反射用干涉滤色片组;高精度测微尺;DIC 微分干涉组件

选配

工业相机:1000万、1500万、2000万,CCD或CMOS相机

分析软件:自开发专业测量系统

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