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红外金相显微镜
红外显微镜

分类:红外金相显微镜 发布时间:2020-07-03 1054次浏览

红外显微镜,专用于特殊产品检测,有需要的朋友可直接咨询苏州汇光科技。

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红外显微镜

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产品详情

BX51-IR型近红外显微镜

MX63L-IR型近红外显微镜(12”晶圆检查专用显微镜)

红外物镜

LMPLN5XIRLMPLN10XIRLCPLN20XIRLCPLN50XIRLCPLN100XIR注意



倍数数值孔径工作距离(mm)硅片厚度分辨率(μm)
5X0.123——5.50
10X0.318——1.83
20X0.458.30-1.21.22
50X0.654.50-1.20.85
100X0.851.20-10.65


注:分辨率在1100nm波长下计算


新旧红外物镜性能对比


LMPL20XIR(旧型号)LCPLN20XIR(新型号)LMPL50XIR(旧型号)
LCPLN50XIR(新型号)LMPL100XIR(旧型号)LCPLN100XIR(新型号)


红外显微镜的应用

– Vcsel芯片隐裂(cracks)、InGaAs瑕疵红外无损检测

– 法拉第激光隔离器,Faraday Isolator近红外无损检测

– die chip 失效分析

– 红外透射Wafer正反面定位标记重合误差无损测量

– 硅基半导体Wafer、碲化镉CdTe、碲镉汞HgCdTe衬底无损红外检测

– 太阳能电池组件综合缺陷红外检测

Vcsel芯片隐裂(cracks)


法拉第激光隔离器胶合偏振片无损检验

die chip 失效分析

红外Wafer正反面定位标记重合误差无损测量

硅基半导体Wafer、碲化镉CdTe、碲镉汞HgCdTe衬底 缺陷无损红外检测

太阳能电池组件综合缺陷红外检测

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