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行业动态

半导体企业为什么选择苏州汇光HGO的红外显微镜?

分类:行业动态 发布时间:2026-10-29 18次浏览

芯片的很多缺陷藏在硅片内部,可见光照不进去,开封又会毁掉样品。这篇讲失效分析团队的两难处境,以及近红外显微镜MH100-IR如何无损“看穿”硅材料,让隐裂、分层、MEMS结构缺陷无所遁形。

芯片的很多缺陷藏在硅片内部,可见光照不进去,开封又会毁掉样品。这篇讲失效分析团队的两难处境,以及近红外显微镜MH100-IR如何无损“看穿”硅材料,让隐裂、分层、MEMS结构缺陷无所遁形。


红外显微镜


一、藏在硅片内部的缺陷

芯片的缺陷不只在表面,很多藏在内部:晶圆内部隐裂、倒装芯片凸点、MEMS器件结构、CSP/SIP封装内部的开裂与分层。可见光照不进去,传统做法只能破坏性开封,样品报废、无法复测。半导体企业需要一种能“看穿”硅材料的无损检测手段,红外显微镜因此成为失效分析和品质管控的刚需,这是我们接触这类项目的基础。

二、失效分析的无奈与妥协

半导体厂失效分析团队的反馈集中在几点:一是破坏性开封代价高,样品一次报废,出了争议没法复测;二是X射线设备投入大、分辨率有限,细微裂纹和结构偏差看不出;三是表面检查只能看到外观、看不到内部,缺陷定位靠猜;四是检测结果没有图像记录,分析报告缺少直观证据;五是设备专业性强,选型、使用都要技术支持,本地服务跟不上。

三、无损检测的苏州汇光HGO方案

我们配的是近红外显微镜加高灵敏红外相机,一套落地。以MH100-IR为代表,以红外不可见光为光源,可穿透1mm以内的硅材料,配备4英寸移动行程载物台,配合近红外相机把图像补足输出到电脑,可拍照、可测量:芯片隐裂(Die Crack)、倒装芯片、MEMS器件、CSP/SIP封装、VCSEL芯片隐裂等都能无损检出。硬件是核心:红外物镜覆盖5X~50X(带校正环),近红外相机420万像素、2048×2048分辨率,大靶面高灵敏度、低至2e-读出噪声,二级TEC制冷,长时间工作不结露,成像清晰稳定;软件配合完成拍照、测量和数据记录,报告直接出。硬件负责看得穿,相机和软件负责拍得清、测得准,衔接好,缺陷定位准,分析更高效。

四、专业设备需要专业服务

苏州汇光HGO在苏州工业园区做红外与金相设备近二十年,服务过不少半导体企业。

一,不卖裸机,按实际检测对象配设备——看晶圆、看封装还是看MEMS,载物台尺寸、红外物镜和相机按需组合,更大尺寸的晶圆也有MH400-IR等机型可选。

二,工程师上门装机、调试、带操作,红外成像调试逐项教会,新人不用啃说明书。

三,本地响应快,先电话指导,解决不了上门,不用跨区等外地售后。

四,懂整套失效分析流程,从样品准备到缺陷判定,配合实验室把检测方案跑顺。

看得穿、拍得清、服务跟得上,苏州汇光HGO做实这三点,失效分析不再靠猜。服务咨询热线:0512-67625945 / 18962209715




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