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国产测量显微镜
MS系列精密测量显微镜

分类:国产测量显微镜 发布时间:2020-07-03 3433次浏览

MS系列精密测量显微镜结合了金相显微镜的高倍观察能力和影像测量仪的X、Y、Z 轴表面尺寸测量功能,具备明暗场、微分干涉、偏光等多种观察功能。可广泛应用于半导体、PCB、LCD、手机产业链、光通讯、基础电子、模具五金、医疗器械、汽车行业、计量行业等领域的检测。

MS系列精密测量显微镜

MS系列精密测量显微镜结合了金相显微镜的高倍观察能力和影像测量仪的X、Y、Z 轴表面尺寸测量功能,具备明暗场、微分干涉、偏光等多种观察功能。可广泛应用于半导体、PCB、LCD、手机产业链、光通讯、基础电子、模具五金、医疗器械、汽车行业、计量行业等领域的检测。

产品详情

MS系列精密测量显微镜为实现强大的测量功能而研制,拥有值得信赖的品质和技术

测量显微镜ms系列-新.jpg

●仰角可调观察筒

观察筒角度可在3-35度范围内任意调整。无论是站立或坐着,都能很大限度满足用户的操作需求,同时也无需担忧用户的身高差异。

●大行程载物台

有多种行程的载物台可供选择:

MS210A平台行程200 (X) mm x 100 (Y) mm,

MS320A平台行程300 (X) mm x 200 (Y) mm,

MS330A平台行程300 (X) mm x 300 (Y) mm,

MS430A平台行程400 (X) mm x 300 (Y) mm,

微信图片_20221114125105713.jpg

不管是大样品还是小样品,都能满足用户的测量需求。若用户有别的需求,也可按需求定制平台。

●精密测量工具

MS系列精密测量显微镜采用0.1μm读数的3轴测量系统,Z轴zui大行程可至170mm,利用集成在机架上的高精度电动控制Z轴。三档不同调速可供选择,调焦可操作性强,提供效率,降低疲劳。

测量软件界面.jpg

●独立裂像光源辅助对焦

可根据样品不同背景进行光源亮度调节,清晰准确显示zui佳焦面。有两种裂像图案可供选择,并随意切换。

微信图片_2022111412510571.jpg

●功能高度集成的一体式设计

一体式工作桌,既预留了台式主机的位置,又带有可收起的键盘抽屉,整体外观整洁、舒服。各类可操作部位触手可及,操作轻松方便。符合人体工程学,使用者无需站立,便可轻松实行操作。

●自主研发测量软件

MS系列精密测量显微镜配备了操作简单,功能强大的测量软件,客户可根据需要设置测试偏好。软件附带了各类手动取点与自动取点的测量功能,适用范围更广,即使对复杂的形状,也可以进行高精度的测量。


●应用领域

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MS系列精密测量显微镜配置参数

型号

MS210A

MS320A

MS330A

MS430A

光学系统

无限远光学系统

观察头

5°~35°倾角可调,正像,无限远铰链三目观察筒,瞳距调节范围:50mm~76mm;两档式分光比:100:0,0:100

目镜

高眼点大视野平场目镜PL10X/22mm,可视度可调,可带测微尺

转换器

六孔电动转换器(带DIC插槽),明暗场六孔电动转换器(带DIC插槽)

物镜

无限远长工作距平场消色差金相物镜5X、10X、 20X、 50X、 100x

无限远长工作距平场明暗场消色差金相物镜5X、10X、 20X

无限远长工作距明暗场半复消金相物镜50X、100X

放大倍率

光学放大倍率: 50X-1000X;系统放大倍率:135X~2700X

测量显微镜主体

手动测量平台,行程200(X) mm x 100 (Y)mm, X/Y测量精度;(2+L/100) um,平台包含快速移动装置及微调装置,更大承载重量:10KG,带z轴电动调焦,电动控制器, Z轴行程150mm, 更大行程170mm,Z轴重复定位精度±2um;

手动测量平台,行程300(X) mm x200 (Y)mm,XY测量精度;(3+L/100) um,平台包含快速移动装置及微调装置,更大承载重量:15KG,带z轴电动调焦,电动控制器, Z轴行程150mm,更大行程160mm, Z轴重复定位精度±2um;

手动测量平台,行程300(X) mm x300 (Y)mm,XY测量精度;(3+L/100) um,平台包含快速移动装置及微调装置,更大承载重量:20KG,带z轴电动调焦,电动控制器, Z轴行程150mm, Z轴重复定位精度±2um;

手动测量平台,行程400(X) mm x300 (Y)mm,XY测量精度;(3+L/100) um,平台包含快速移动装置及微调装置,更大承载重量:20KG,带z轴电动调焦,电动控制器, Z轴行程150mm, Z轴重复定位精度±2um;

照明系统

明暗场反射照明器,带明、暗场照明器切换装置,普滤色片插槽与偏光装置插槽,带5W LED灯源,亮度均可调

辅助对焦模块,带明、暗光楔模切换装置,带绿光5W LED灯源(含100V-240V宽电压, 5W LED控制器,

调焦方式

电动控制器,带自动/手动乙轴调焦,独立控制上/下/辅助对焦三种光源,支持亮度可调,包含x/y/z单独清零及一健清零,电动控制转换器,配置乙轴运动急停按键

相机

德国进口的映美精相机,靶面尺寸: 1/1.8 inch ;分辨率: 1600x 1200(1.9MP), 帧速率: 20fps, 300万像素

摄影摄像接口

0.5X/0.65X CTV,采用C型接口,可调焦

PC

联想电脑扬天M4000g(15-10400 8G IT)21.5英寸

软件

舜宇MS精密测量软件,实时显示数显表三坐标数据,配置图像测量模块, 支持自动寻边,倍事自动识别等功能, 定制化终端数据上传功能

其他附件

起偏境插板,360旋转式检偏镜插板;反射用干涉滤色片组;高精度测微尺;DIC组件;标定片

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