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行业动态

芜湖红外显微镜(IR)在半导体领域的应用

分类:行业动态 发布时间:2025-04-27 113次浏览

从手机到汽车,再到心脏起搏器,硅片已渗透到现代生活的每个角落。

半导体器件

硅片是半导体制造的“地基”,所有晶体管和电路都构建在其表面。如果基底存在裂纹,就像在摇晃的地基上盖楼,后续工艺(如光刻、蚀刻、沉积)会放大缺陷,较终导致芯片失效。

SEMI(国际半导体产业协会)半导体指出,硅片占芯片制造成本的 10-15%,但缺陷导致的损失可能高达后续总成本的 30-50%,为了降低制造成本,在进一步加工之前,检查原材料基底是否有裂纹并检测缺陷是关键一步。

芯片失效、芯片隐裂检测

普通芜湖工业显微镜的可见光波长在400-700纳米范围内,硅传感器的上限约为1100nm,而红外显微镜采用了波长在700-1700纳米的近红外光,覆盖了近红外频带,所以,当使用近红外成像时,水蒸气、雾和硅等特定材料都是透明的,因此可以实现穿透观察,进行无损检测。

红外显微镜MH100-IR

汇光MH100-IR近红外显微镜是以红外线不可见光为光源,能穿透1mm以内硅材料,配置配备5X至50X红外(IR)物镜;对于高倍率物镜,还配备了带校正环的系列物镜,以校正由样品厚度引起的像差。可以进行拍照、分析、测量、存储等,主要用于半导体行业对于芯片隐裂、倒装芯片、MEMS器件等无损检测。

红外显微镜(IR)无损检测


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