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晶圆检测设备
晶圆切割3D形貌检测机

分类:晶圆检测设备 发布时间:2023-03-08 8498次浏览

晶圆切割3D形貌检测机,专用行业检测设备,自动化测量,操作便捷。

晶圆切割3D形貌检测机

晶圆切割3D形貌检测机,专用行业检测设备,自动化测量,操作便捷。

产品详情

晶圆切割3D形貌检测机

 晶圆切割3D形貌检测机应用

(1)崩边检测

晶圆切割3D形貌检测机崩边检测

(2)沟槽深度扫描测量

晶圆切割3D形貌检测机沟槽深度扫描测量

(3)线条图形扫描宽度提取

晶圆切割3D形貌检测机线条图形扫描宽度提取

(4)测试位置可以自定义

晶圆切割3D形貌检测机测试位置可自定义

晶圆切割3D形貌检测机样品测试数据

(1)槽深测量

槽深测量

(2)槽宽测量

槽宽测量

(3)四个位置的测量结果

晶圆切割3D形貌检测机测量结果


晶圆切割3D形貌检测机样品测试小结

(1)随机选取四个镭射槽的槽宽在53.4~57.7μm,槽深在20.9~25.9μm

(2)测量四个位置自动化所需时间约为2min

测量结果

槽内干涉条纹图表面干涉条纹图
槽内干涉条纹图表面干涉条纹图

样品三维图

QQ截图20230308133637.jpg

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