您好!欢迎您访问"苏州工业园区汇光科技有限公司"企业网站!

咨询热线
HOTLINE

18962209715
0512-67625945

奥林巴斯金相显微镜
8寸奥林巴斯晶圆检查系统

分类:奥林巴斯金相显微镜 发布时间:2020-12-15 27次浏览

8寸奥林巴斯晶圆检查系统可对应200mm以下晶圆尺寸的硅、化合物晶圆,也可以安全有效搬送薄片晶圆,非常适合于前道到后道工程的晶圆检查。

联系我们

苏州工业园区汇光科技有限公司
  • 苏州工业园区中新大道西88号
    苏信大厦
  • 18962209715
  • 0512-67625945
  • 0512-67629676
8寸奥林巴斯晶圆检查系统

8寸奥林巴斯晶圆检查系统可对应200mm以下晶圆尺寸的硅、化合物晶圆,也可以安全有效搬送薄片晶圆,非常适合于前道到后道工程的晶圆检查。

产品详情

8寸奥林巴斯晶圆检查系统

8寸奥林巴斯晶圆检查系统特点

●适应范围广、搭配灵活,8寸奥林巴斯晶圆检查系统具有高度实用性和高度可靠性。

●8寸奥林巴斯晶圆检查系统传输各种尺寸的硅片

基于硅片的尺寸,AL120系列晶圆检查系统有3种基本机型,单200mm(AL120-L8)、150mm和200mm兼容(AL120-L86)、单150mm或以下尺寸(AL120-L6)。每一款都是为了传输硅片已经进行显微镜检查而设计。正面宏观和背面宏观检查均可适用与各种尺寸的硅片。

晶圆检查系统传输各种尺寸的硅片

●8寸奥林巴斯晶圆检查系统可以传输超薄的硅片,即薄至90um

为了应对更具有挑战性的超薄硅片,奥林巴斯晶圆检查系统特殊设计了传输手臂,可以应对25片装的200mm的片盒以及薄至90um的硅片,并完成安全传输和显微镜检查。可通过面板预设多达10种不同厚度的硅片信息。

●精密的能力,增强宏观检查的功能

新款的具备宏观检查功能的机台(LMB型)具有360度自动旋转而完成硅片的每面宏观检查。这一设计可以方便的发现硅片正反面上的缺陷和颗粒。另外,可以通过使用摇杆将硅片倾斜30度进行宏观检查。

晶圆360°检测显微镜

●LCD显示屏提供精度和操作方便性

LCD显示屏提供给操作者更直观的视觉感受,使得奥林巴斯晶圆检查系统检查项目和次序一清二楚,以及安装调试所需要设置的参数也一目了然。检查结果、包括操作者输入的宏观和微观的缺陷记号一并可以显示在LCD显示屏上,方便操作者的回顾。

晶圆检查系统LCD显示屏

●精密的可靠性

对于硅片的安全性,AL120系列晶圆检查系统采用新的两种硅片检测方式:硅片的厚度以及在片盒中的位置。传输前先扫描硅片在片盒中的位置。选购的载物台自动锁死功能提高了硅片传输到真空载物台的安全性。

●强大和可靠的显微镜

奥林巴斯半导体检查显微镜MX61通过不同的观察方式:明场、暗场、微分干涉、红外和深紫外,都可以呈现出高清晰度和高解析的图像。配备电动物镜转盘,与显微镜主机的孔径光澜具有联动功能,每一次物镜的切换,孔径光澜也会自动变换。

●符合SEMI S2/S8 和RoHS标准

AL120系列晶圆检查系统设计不单只重视传输中的硅片的安全,也保证操作者的安全,完全符合SEMI的S2和S8标准,同时也满足了Rohs标准。

8寸奥林巴斯晶圆检查系统技术规格

型号

AL120-LMB12-LP

AL120-LMB12-F

晶圆尺寸

300 mm(SEMI M1.15 t=775 μm)可选:200 mm

卡盒数

单盒(装载、卸载兼用)

卡盒设置高度

900 mm

装载端口

搬运顺序

表面宏、内面宏、显微镜检查

检查模式

全部检查、抽样检查

晶圆校准

非接触式中心环

晶圆搬运方式

真空吸附机械搬运

适用显微镜

半导体检查显微镜MX61L

应用环境

AC100~120 V,220~240 V,3.0/1.7 A,50/60 Hz ,真空-67~-80 Kpa

载物台

XY手动吸附载物台,有XY粗调/微调和360度旋转机构

重量(不包括显微镜)

约360 kg

约270 kg

上一篇:没有了

下一篇:12寸奥林巴斯晶圆检查系统

相关标签:
版权所有:苏州工业园区汇光科技有限公司 苏ICP备18008002备 技术支持:苏州荣邦
苏州工业园区汇光科技有限公司主营视频显微镜测量显微镜倒置金相显微镜,是一家专业从事以显微光学、显微视觉、数码成像,自动化测量以及非标智能检测类为核心的各种工业用光学检测分析仪器和设备的研发、生产与销售的公司。xml地图 htm地图 txt地图
×