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超大工作平台半导体检查显微镜

分类:半导体检查金相显微镜 发布时间:2020-07-03 59次浏览

超大工作平台半导体检查显微镜是全新的MX12R半导体 \FPD 检查显微镜,超大支持 300mm 晶圆及 17英寸液晶面板的检查,含 4、6、8、12英寸多种转盘,可适用不同尺寸的晶圆检查。人机工程学设计全面提升,为用户提供更加舒适、灵活、快捷的操作体验。

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超大工作平台半导体检查显微镜

超大工作平台半导体检查显微镜是全新的MX12R半导体 \FPD 检查显微镜,超大支持 300mm 晶圆及 17英寸液晶面板的检查,含 4、6、8、12英寸多种转盘,可适用不同尺寸的晶圆检查。人机工程学设计全面提升,为用户提供更加舒适、灵活、快捷的操作体验。

产品详情

仰角可调观察筒

0-35°观察角度可调,适合不同身高的用户,降低了对工作环境的要求,让不同的使用者都能找到合适的观察角度,减轻了长时间工作带来的不适与疲劳,大幅度提高工作效率。
全新离合驱动式载物台
MX12R 采用离合式手柄,用户按下离合扳手就可灵活移动平台,无需长时间捏紧手柄;按下离合按钮,取消快速移动。避免长时间操作出现手麻现象,并加快观察速度。超大工作平台半导体检查显微镜引入精密导轨传动机构,移动更轻更顺畅,产品更加稳定可靠。

安全、高速的电动式物镜转换器

设有前进、后退两档切换模式,可快速定位到所需要的观察倍率,重复定位精度高。机械式的切换模式,有效提升了转换器的使用寿命。

按键触手可及,助您提高工作效率
MX12R 物镜与孔径光阑采用全新的电动控制系统,其操作按键位于仪器正前方,让您触手可及。人性化的电动设计不仅避免了频繁的手动操作步骤,也使您的检测工作也更加准确、灵活。

防震支架设计
机身由六端支架支撑,低重心、高稳定性全金属机架,具备的抗震功能,确保像质稳定。

丰富的应用领域

MX12R 集成了明场、暗场、偏光、DIC 等多种观察功能。 广泛应用于半导体、FPD、电路封装、电路基板、材料、铸件金属陶瓷部件、精密磨具等检测。

超大工作平台半导体检查显微镜 MX12R 配置参数 

光学系统 

无限远色差校正光学系统 

观察方式 

明场/暗场/偏光/DIC

观察筒 

无限远铰链三通观察筒,0-35°倾角可调,正像,瞳距调节 :50-76mm,分光比 100:0 或 0:100

目镜 

高眼点大视野平场目镜 PL10X/25mm,视度可调,可带单刻度十字分划版 

物镜 

无限远明暗场半复消金相 DIC 物镜 5X 10X 20X 50X 100X

无限远长工作距明暗场半复消金相 DIC 物镜 20X

无限远长工作距明暗场半复消金相物镜 50X 100X

转换器 

明暗场六孔电动转换器,带 DIC 插槽 

机架组 

反射式机架,前置低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程35mm,微调精度0.001mm。带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置。内置 100-240V 宽电压系统 

透反机架,前置低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程 35mm,微调精度 0.001mm。带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置。内置 100-240V 宽电压系统 

载物台 

右手位    14×12 英寸三层机械移动平台,低手位 X、Y 方向同轴调节 ;平台面积 718mmX420mm,移动范围 :356mmX305mm

带离合器手柄,可用于全行程范围内快速移动 ;玻璃载物台板 ( 反射用) 

电动平台 

面积    495mmX641mm,移动范围 :306mmX306mm ;软件控制 X、Y 移动,重复定位精度,(3+L/50)μm 带平板平台 

照明系统 

明暗场反射照明器 , 带可变电动孔径光阑,视场光阑 , 中心均可调 ;带明暗场照明切换装置    ;带滤色片插槽与偏光装置插槽 

摄影摄像附件 

0.5X/0.65X/1X 摄像接筒,C 型接口,可调焦 

其他 

起偏镜插板,固定式检偏镜插板,反射用干涉滤色片组    ;高精度测微尺 ;DIC 组件 

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